江苏省技术产权交易市场

星级指数4
半导体材料表面黏附力、摩擦力定量测试方法开发
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发布时间: 2022-06-17 18:16:28 剩余时间: 319天
需求编号
4811670991111168
发布者
南京市科技成果转化服务中心
需求状态
待解决
意向投入
¥100,000元
联系方式
158xxxx3148 【点击查看】
1、需求内容主要技术:
自研MEMS器件关键结构的表面的黏附力、摩擦力、荷电及粗糙度等对器件的性能及可靠性有显著影响。为更好地进行工艺优化、失效机理研究,对器件所用半导体材料表面进行定量分析至关重要。目前粗糙度的测量方法已经较为成熟,结果精确度、准确度均能达到较高水平,但黏附力、摩擦力、荷电的测试对于样品设备匹配度要求较高,且结果通常停留在定性分析。需要在具有定性分析的AFM设备基础上(QNM-AFM),进行定量或半定量测试方法开发,如所用探针特性选择、测试条件优化、制样方法开发等已获取上述表面特性的定量或半定量数据。主要成本为AFM或其他设备测试机时、耗材以及人工。
2、现有基础:
对自研产品进行的定性分析积累了一定的经验,但结果可重复性较差,投入的资源主要为测试费用。
技术领域
电子信息,微电子技术
需求类型
关键技术研发
有效期至
2023-06-30
合作方式
合作开发
需求来源
自主填报
所在地区
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