本项目的技术目标是实现一种高精度、高稳定性的显微膜厚仪产品开发,能够在微纳米尺度上精确测量膜层的厚度及其均匀性。具体目标包括:1) 实现膜厚的测量精度达到纳米级,单点测量精度优于10nm。2) 配备运动机构能够对膜厚区域进行全面的面积扫描,确保数据的高度一致性和可重复性。3) 实现膜厚仪产品小规模量产,保证量产的批次产品一致性及质量稳定。
技术领域 | 高性能、智能化仪器仪表,先进制造与自动化,科学分析仪器/检测仪器 | 需求类型 | 关键技术研发 | 有效期至 | 2024-04-30 |
合作方式 | 合作开发 | 需求来源 | | 所在地区 | |