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该技术用于新型吸气材料的生产,主要要求将活性金属吸气材料溅射镀膜在基板上。要求溅射镀膜密度低,具有一定的孔隙度同时具有较高牢固度。且要求生产效率较高。本技术目前由国外少数公司垄断。国内电子材料和电子器件均有科研院所和公司进行研究,但尚无重大技术突破。
1、初始吸气速率100毫升/平方厘米.秒以上,吸气总量0. 1帕斯卡.升/平方厘米以上; 2、要求镀膜速度达到0.2微米/小时以上
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