本发明涉及一种提高折射率传感器件品质因数的结构及测试方法，属于传感器折射率品质因数的领域。该结构由基底、位于基底表面的复合层组成，所述复合层包括上金属层、中间半导体层和下介电层，其中上金属层为周期性的金属纳米颗粒阵列，中间半导体层为周期性的半导体纳米柱阵列，下介电层为周期性的介电纳米柱阵列。利用本发明中金属纳米颗粒的局域表面等离激元共振、半导体纳米柱的米氏共振与周期阵列的衍射波之间的多元耦合作用，以及介电纳米柱减弱的衬底效应，能获得灵敏度较高、带宽极窄的等离激元晶格共振，克服了传统金属等离激元晶格共振结构存在带宽较宽的问题，提高了折射率传感器件的品质因数，在生物、医学、食品等领域具有广泛应用。

本发明涉及一种提高折射率传感器件品质因数的结构及测试方法，属于传感器折射率品质因数的领域。该结构由基底、位于基底表面的复合层组成，所述复合层包括上金属层、中间半导体层和下介电层，其中上金属层为周期性的金属纳米颗粒阵列，中间半导体层为周期性的半导体纳米柱阵列，下介电层为周期性的介电纳米柱阵列。利用本发明中金属纳米颗粒的局域表面等离激元共振、半导体纳米柱的米氏共振与周期阵列的衍射波之间的多元耦合作用，以及介电纳米柱减弱的衬底效应，能获得灵敏度较高、带宽极窄的等离激元晶格共振，克服了传统金属等离激元晶格共振结构存在带宽较宽的问题，提高了折射率传感器件的品质因数，在生物、医学、食品等领域具有广泛应用。