高纯晶硅是太阳能光伏电池产业、半导体工业、电子信息产业的最主要、最基础的材料。近几年光伏市场的扩大带动了多晶硅产业的迅速发展，多晶硅产能和规模不断增加，中国已成为全球光伏制造与应用大国，光伏年产值 4000亿元。不断扩大的多晶硅生产规模和节能减碳的刚性要求以及市场的激烈竞争，对高纯晶硅生产装备提出了更高要求，大型化、高纯度、高效节能是目前多晶硅行业技术与装备的发展趋势和需求，既要提高单台设备的处理能力，又要节能与降低成本降耗水平以符合当前多晶硅大规模生产的要求。
原料气（H2和SiHCl3）在还原炉内生产多晶硅的转化率较低（8%～12%），产生大量的高温尾气，尾气中含有H2、HCl、SiHCl3、SiCl4等，需经冷却后去精馏分离单元提纯分离后，返回还原反应单元循环使用。迫切需要气体膜分离技术直接将尾气进行选择性分离，降低能耗和成本。
多晶硅生产过程中产生大量的副产物SiCl4，需要经过冷氢化反应转化为生产多晶硅的原料SiHCl3。现有技术反应温度高（500～600℃）、压力高（3～4MPa），导致生产能耗和成本较高, 迫切需要